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空检漏的意义?
答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括①充气检漏法,②卤素检漏法,③氨检漏法。2)真
瑞士英福康真空计维修
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空检漏的意义?
答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括①充气检漏法,②卤素检漏法,③氨检漏法。2)真空检漏法,包括①高频火花检漏法,②真空计检漏法,③质谱仪检漏法。
简述真空泵的抽气原理?答:1)利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩,b.蒸汽流粘滞牵引压缩,c.刚性表面的牵引压缩。2)利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用,b.利用物理吸附和化学吸附作用。
真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽?能做什么?怎么用?1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压强大小。腔室里面气体多,压力大,压强大,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。
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inficon技术:(1)从微机电系统(inficon)发展到纳机电系统(NEMS)的启示;(2)inficon加速度计、陀螺仪及组合式惯性传感器技术及应用;(3)光学传感器和气体传感器技术及应用;(4)inficon谐振器和振荡器技术及应用;(5)inficon制造工艺;(6)inficon封装技术;(7)inficon产线参观学习:苏州inficon中试平台和捷研芯量产封装产线。
上世纪50年代,D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管(电子管)做电路,其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器,晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时,阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。
到了20世纪80年代,M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构,长2.66mm,宽0.3mm,厚0.13mm,谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路,(phaselookedloop)使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限,经过对石英晶振结构的研究,选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。
热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计,其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取,因而,经常在规范自然环境情况下,用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下,适用DL-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。
DL-3型热偶真空计的校准曲线(10~10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102~10Pa)由图4-10可以看出,当工作压力从0.1MPa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内,热偶电势差E一直在零值周边,其根本原因是气体分子结构多,传输走的卡路里多,因此热丝温度低,热偶电势差E亦低,并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干,故热偶电势差E不转变(小量转变是气体热对流造成的)。
当气体压力至102Pa时,热偶电势差E逐渐扩大,这也是因为这时气体传输走的发热量降低,热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时,热偶电势差再次扩大,可是愈来愈迟缓,很后趋向一定值。自此,p再减少,E不会再转变,即热偶真空计已做到其准确测量限,这一限为其准确测量低值,约为10-1Pa。为了更好地应用上的便捷,通常依照p—E校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时,可立即读取真空值,从此不用依据测定的p-E校准曲线查被测真空值。
气体类型对热偶真空计的危害热偶真空计对不一样气体的测定結果是不一样的,这也是因为不一样气体分子结构的传热系数不一样引发的。但各种各样气体的p-E校准曲线样子都相似,因而,在准确测量不一样气体的负担时,可依据干躁气体(或氢气)标尺的工作压力读值,再乘于相对应的被测气体相对度,就可获得该气体的真实工作压力,
即通常以干躁气体(或氢气)的相对度为1,别的一些较常用的气体和水蒸气的相对度如表4-2所显示。相对度说明了气体导热的特性。从表得知,针对气体分子结构中具备同样原子数的气体或蒸汽,其相对度Sr随相对分子质量的增加而扩大。表4-2一些气体与蒸汽的相对度
热偶规管加温电流量的明确因为生产制造热偶规管常用的原料及加工工艺等缘故,每一个规管的加温电流量均不同样;在应用历程中也会因为规管“衰老”促使加温电流量增大;除此之外,不一样检测范围的加温电流量也是有差别。因而,在应用热偶记时,应按不一样的测量范围明确规管的加温电流量。
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