近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。BOXER系列（130至460对/8小时）BühlerLeybold
进口真空泵定做
近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。BOXER系列（130至460对/8小时）BühlerLeyboldOpticsBOXER系列是用于眼镜镜片镀膜的通用性高、生产力高且实用的中到大型平台。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。
莱宝真空泵使用的注意事项
(1) 润滑油使用机械真空泵油(即石油部门规定的SY1634-76，1号真空泵油，其代号KK-1),要不然达不到所要求之真空。
(2) 要是长久不用，则需要间隔7-10天开泵一次，开泵时长约一小时，以防泵内锈蚀。
进口真空泵定做每隔半年需要清洗一次莱宝真空泵内的污垢和灰尘，对风扇轮、通风格栅、冷却翅片以及风扇引擎罩进行清洗，用压缩空气清洗z好。
对于莱宝真空泵油及时进行更换，每月都要进行一次对排气过滤器与进气过滤器进行的检查。
进口真空泵定做螺杆泵维修时应注意检查轴承的工作和润滑情况。轴承和外圈的温度应比环境温度高15℃ ~ 20℃。z高温度不应超过30℃ ~ 35℃，即轴承座外圈的实际温度不应超过55℃~ 60℃；对于正常工作的轴承，每年应加3-4次油，每年至少清洗一次轴承，并更换所有润滑油。（5）较高的闪点：主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸汽压。若是莱宝螺杆泵维修时过程中出现异常噪音，可以拆下两端盖上的压板，检查叶轮两端面是否磨损，排气阀板是否正常。
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