氦质谱检漏仪的结构
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
正压氦质谱检漏设备价格
氦质谱检漏仪的结构
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
真空压力法氦质谱检漏
采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；
4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。
5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。
氦质谱检漏仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：
首先，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。 第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。 第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。 第四，氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。 第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。 第六，检漏仪的性能不稳定。 第七，氦气纯度不稳定或存在误差。 第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。
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