EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修
惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、维修进口真空泵技术队伍，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与保养服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们
爱德华真空泵组维修
EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修
惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、维修进口真空泵技术队伍，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与保养服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。应用真空冶金加工薄膜覆层技术制药冷冻干燥冷冻和空调系统抽空、干燥和回填变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂灯具制造低温容器抽空化工行业中的真空干燥和蒸馏半导体设备制造用于高真空应用的前级泵技术数据排量50Hz80m3h-1/47。
EM 系列泵是结实的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。在保证机器正常运转的情况下，为了减少功耗，应优先选用黏度小的油品。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵
镀膜机真空泵机组E2M275+EH1200
销售爱德华E2M275+EH1200真空泵机组，
英国Edward爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气
而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维
持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体
传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。如果制程主要使用可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要确保可以将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。
干泵选择
CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。3极限压力涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达到的稳定时的低压力，用P。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性和长正常运行时间至关重要。
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