太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种，如：单晶硅，多晶硅，非晶硅，，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。太阳能电池的工作电压和电流是随负载电阻而变化的，将不同阻值所对应的工作电压和电流值做成曲线就得到太阳能电池的伏安特性曲线。如果选择的负载电阻值能使输出电压和电流的乘积，即可获得输出功率，用符号Pm表示。此时的工作电
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太阳能电池是一对光有响应并能将光能转换成电力的器件。能产生光伏效应的材料有许多种，如：单晶硅，多晶硅，非晶硅，，硒铟铜等。它们的发电原理基本相同，现以晶体为例描述光发电过程。太阳能电池的工作电压和电流是随负载电阻而变化的，将不同阻值所对应的工作电压和电流值做成曲线就得到太阳能电池的伏安特性曲线。如果选择的负载电阻值能使输出电压和电流的乘积，即可获得输出功率，用符号Pm表示。此时的工作电压和工作电流称为工作电压和工作电流，分别用符号Um和Im表示。
化学法中，西门子法（Siemens process）广为早期生产半导体级多晶硅的业者所采用，此法技术成熟但成本较高。除西门子法外，尚有ASiMi法、流体床反应法与管状沉积法等。ASiMi法是Advanced Silicon Material （ASiMi）公司所研发，系利用硅（silane/ SiH4）为原料的高纯度多晶硅制程技术。2005年ASiMi宣布退出多晶硅市场，大部分股权由挪威REC （Renewable Energy Corp）收购，因此此项技术目前仍由REC在进行生产。
流体床反应法与ASiMi法同样以硅为原料，这种方法的反应温度较低，可减少近30%的耗电量，且因硅晶种反应面积较大，反应炉内气流速度快，可解决ASiMi法沉积速度慢的问题。流体床反应可为连续式的生产，也是流体床反应炉优于钟罩形西门子反应炉的原因。管状沉积法是Joint Solar Silicon GmbH （JSSI）使用的多晶硅生产技术，所使用的原料与原理和流体床反应法相同，皆为硅与氢气加热分解后产生的多晶硅。JSSI宣称此法所消耗的电量为传统西门子法的10分之1，转换率可达95~98%，目前已有量产纪录。
太阳能硅片的清洗很重要，它影响电池的转换效率，如器件的性能中反向电流迅速加大及器件失效等。因此硅片的清洗很重要，下面主要介绍清洗的作用和清洗的原理。在太阳能材料制备过程中，在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜，有害的杂质离子进入二氧化硅层，会降低绝缘性能，清洗后绝缘性能会更好。在等离子边缘腐蚀中，如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在，会影响器件的质量，清洗后质量大大提高。
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