真空镀膜加工是利用化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。
首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者
多功能化学气相沉积
真空镀膜加工是利用化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。
首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料,也可以作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤。
真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相堆积(PVD)技术和化学气相堆积(CVD)技术。
物理气相堆积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀细密、薄膜厚度可控性好、运用的靶材广泛、溅射规模宽、可堆积厚膜、可制取成分安稳的合金膜和重复性好等长处。一同,物理气相堆积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下,因而可作为Z终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。
对于已清洗过、不能存放于大气环境的洁净表面,应采用密封容器或保洁箱储存,减少尘垢。在新氧化铝容器中储存玻璃底板,可以将对烃类蒸汽的吸附降到Z低。这样的容器更倾向于吸附烃类。对于高不稳定性、对水汽敏感的真空镀膜加工,一般应储存在真空干燥箱中。
薄膜和基体选材广泛,薄膜厚度可进行控制,以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。在真空条件下制备薄膜,环境清洁,薄膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
有机化学液相沉积(CVD)。它是以化学变化的方法制做塑料薄膜,基本原理是一定溫度下,将带有制膜原材料的反映汽体通到基片上并被吸咐,在基片上造成化学变化产生核,接着反映反应物摆脱基片表层持续外扩散产生塑料薄膜。束流沉积镀,融合了离子注入与液相沉积镀膜技术性的正离子表层复合型解决技术性,是一种利用离化的颗粒做为蒸镀原材料,在较为低的基片溫度下,产生具备优良特点塑料薄膜的技术性。

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