扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料。由于它们的非导电性，其表面带有“电子陷阱”的作用。这种表面上的电子积累被称为“充电”，为了消除充电效应，一种常见的解决该问题的的方法是降低样品腔的真空度。这样可以在样品表面附近引入带有正电荷的分子。它们与充电电子相互中和，从而消除充电效应。这已经被证明是一种行之有效的方法。然而，真空室
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扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料
扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料。由于它们的非导电性，其表面带有“电子陷阱”的作用。这种表面上的电子积累被称为“充电”，为了消除充电效应，一种常见的解决该问题的的方法是降低样品腔的真空度。这样可以在样品表面附近引入带有正电荷的分子。它们与充电电子相互中和，从而消除充电效应。这已经被证明是一种行之有效的方法。然而，真空室中引入的空气分子会干扰电子束，影响图像质量。因此，为了追求高质量的扫描电镜喷金图像，则建议选择使用磁射喷金;镀层充当一个导电通道，使充电电子可以从材料中转移走。
真空镀膜法与离子溅射法相比
真空镀膜采用真空镀膜仪进行蒸镀，其原理是在高真空状态下，通过加热靶材，使之蒸发成极细小的颗粒（原子团）而挥发出来，然后通过自身的重力降落到样品的表面形成一层导电膜层，使样品表面导电。现在多数镀膜仪通常选用金、铂和金钯合金等，蒸镀金属膜的厚度约为5~10nm。同样的靶材用真空镀膜法与离子溅射法相比，真空镀膜法所形成的金属膜层的颗粒相对较粗，而且膜的均匀性较差，操作较麻烦，既费时又耗能、耗材，所以成本比较高。目前真空镀膜法已经很少使用，使用较多的是离子溅射法。
扫描电子显微镜通常至少有一个检测器
当一束超细高能入射电子轰击和扫描样品表面时，激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续光谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见、紫外和红外区域的电磁辐射。同时可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是SEI)，其中许多配备了额外的检测器，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等。但特定仪器的特殊功能强烈依赖于合适的探测器，探测器的安装角度，即样品分析室的设计，对分析效果影响很大。为了获得较高的扫描电子显微镜分析质量，我们应该对各种功能机制有深入的了解。
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