洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁
洁净工作台检测标准
洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别，≥0.5um:2.83L/次，≥5um:2.83L/次
洁净室气流流向检测
一、测试仪器
1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪
二、测试步骤
1. 用支架设立垂线作为基准线。
2. 将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。
洁净室检测检测内容
竣工验收GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》中明确规定，竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转，空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。
综合性能评定综合性能评定的检测工作必须由有经验的第三方承担，而且所用仪表必须合格有效。检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行，而且在检测之前，必须对洁净室及净化空调系统再次进行的清扫。
洁净室（区）性能测试和认证洁净室（区）投入运行后，为了检测其综合性能是否可以始终符合设计要求、标准规范的规定和满足业主的产品生产质量要求，需对洁净室（区)进行监测和定期性能测试认证，测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。
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