如何测量真空镀膜机的厚度
理想的膜厚是基片表面与膜表面之间的距离。在薄膜形态的三维测量中,其他二维测量相对于薄膜厚度可以说是大的。由于实际表面是不均匀、不连续的,而且膜内部可能存在气孔、杂质、晶格缺陷、表面吸附分子等,实际上很难严格定义和准确测量膜的厚度。薄膜厚度的定义取决于寻址方法和寻址目的。因此,相同的薄膜,采用不同的测量方法会得到不同的结果,即不同的厚度。
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如何测量真空镀膜机的厚度
理想的膜厚是基片表面与膜表面之间的距离。在薄膜形态的三维测量中,其他二维测量相对于薄膜厚度可以说是大的。由于实际表面是不均匀、不连续的,而且膜内部可能存在气孔、杂质、晶格缺陷、表面吸附分子等,实际上很难严格定义和准确测量膜的厚度。薄膜厚度的定义取决于寻址方法和寻址目的。因此,相同的薄膜,采用不同的测量方法会得到不同的结果,即不同的厚度。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
扩散泵是真空镀膜机很重要的部件,大家都知道,真空镀膜机是在真空状态下工作的,那么真空腔体要达到真空,扩散泵的。然而要保证真空镀膜机长期稳定工作,扩散泵保养和维护是的环节。
1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
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