洁净室检测静电检测
一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (8
干燥箱设备
洁净室检测静电检测
一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室检测围护结构等表面的维护与清洁
首先是洁净室的墙面、地面、顶棚等维护结构，在设计、施工中要选用表面光洁、质地坚实、不产尘、少积尘、耐清洗等符合质量要求的材料。要求它们在频繁地擦拭、洗涤等清洁、消毒的条件下，表面不变粗糙或多孔，否则会存留微粒和化学污染物，或容易导致微生物污染。
在设计、施工中应保证洁净室内的墙面、地面、顶棚、门、空气扩散板和地漏等都是易于进行表面清洁的。而且还应把墙面、地面、顶棚等的接缝处的细节考虑在内，特别要避免出现有可能积留水分的地方或表面。
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
（作者： 来源：）
