真空泵常用性能参数详注
1．抽气速率(体积流率)(s单位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)
当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上的位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
2．极限压力（极限真空）（单位：Pa/MPa/mmHg）
泵
贝克真空泵代理
真空泵常用性能参数详注
1．抽气速率(体积流率)(s单位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)
当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上的位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
2．极限压力（极限真空）（单位：Pa/MPa/mmHg）
泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的低的稳定的压力。
3．起动压力
泵无损坏起动并有抽气作用的压力
4．前级压力
排气压力一个大气压力的真空泵的出口压力。
5．前级压力
超过了能使泵损坏的前级压力。
6．工作压力
对应抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·
7．抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）
流经泵入口的气体流量。
8．压缩比
泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。
综上所述：真空泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵重要的参量。
真空泵选型
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空泵的排气过滤
由于真空泵运行时需要使用润滑油、真空泵油等，所以其排出的气体中会含有很多油雾颗粒，如果不进行分离处理，那么这些油雾颗粒就会随着废气一起排出来，污染工厂的空气和环境。而且真空泵油使用得非常快，每天都要给真空泵加油，于是就需要真空泵滤芯对排放出的气体进行过滤。废气在排出时需要通过真空泵滤芯的滤纸，制作滤纸的材料很特殊，具有非常高的精度，而油雾颗粒是液体形态，不能直接穿过滤纸，所以就只能被过滤出来，附着在滤纸上面，积少成多，慢慢地，这些油雾颗粒会聚成油再流回真空泵内部，而过滤后不含油雾颗粒的气体则顺利通过滤纸排出。
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