涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R
爱德华真空泵厂家
涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵
为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:
S1,=2仇、+Vol卜(5.2)
其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏，其实际抽速S要理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，
Q。为总泄漏，则〔10)
S*PL=Sw*P,司t
则实际抽速为
g
J=J'*一下了
r,
(5.3)
5.1.3极限压力
涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际
抽速S=O，即可得极限压力〔10)
(5.4)
EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修
惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、维修进口真空泵技术队伍，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与保养服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体制程中的一个关键步骤。
概述
EM 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业和实验室应用的行业标准。
E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。
应用分析仪器 - LCMS汽车射束线和高能物理超高速离心机覆层低温学脱气/硫化 - 油，环氧树脂蒸馏/萃取/过滤冷冻干燥熔炉气瓶充气/排空凝胶体干燥手套式操作箱，干燥炉实验室工作台上真空激光机、 气体回收和再循环氦检漏仪负载锁和传输腔冷冻制造旋转离心蒸发器溶剂回收表面科学仪器涡轮分子前级泵 技术数据
E2M18E2M28E1M18排量 (50Hz)20.5 m3h-1/32.2 m3h-120.5 m3h-1/ 12.1 ft3min-1 19 ft3min-112.1 ft3min-1排量 (60Hz)25.0 m3h-1/38.9 m3h-125.0 m3h-1/ 14.7 ft3min-116.2 ft3min-114.7 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 50 Hz17.0 m3h-1/27.5 m3h-117.0 m3h-1/ 10 ft3min-116.2 ft3min-110 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 60Hz20.4 m3h-1/33.0 m3h-120.4 m3h-1/ 12.1 ft3min-1 19.5 ft3min-112.1 ft3min-1极限真空（总压力）
爱德华E2M80真空泵维修的（6）个流程
1.确认问题（如有需要，会在24小时内排出技术人员赶赴现场确认爱德华真空泵故障）
2、取泵维修（在故障确认后精捷会给出具体维修周期、维修方案和可达到的效果并上门取泵）
3、拆开报价（为了让客户更清晰的知道维修费用，明胜把维修费用细分化、合理化
4、确认维修（客户同意维修费用后开始维修，维修时刻现场观摩，维修后所换配件原封不动送还客户
