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高纯水设备介绍:
高纯水是化学纯度极高的水,其中的杂质的含量小于0.1mg/L,一般在电子、、航天或其他特殊行业工艺生产中,为了达到产品所需工艺用水,一般需要电导率0.055μS/cm(电阻率18.2 MΩcm)的理论纯水,统称为高纯水或超纯水。目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%,其中杂质含量0.01mg/L,将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下,电导率小于0. 2μs/cm。由此,我们也就知道了,什么是高纯水设备了。
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电子行业超纯水设备是一款半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。
电子行业用超纯水设备的工艺:
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
微电子行业用超纯水设备主要特点
1、脱盐率大于99.9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。
2、电脑元件用超纯水设备的自动化程度高,易维护,可设计成完善的膜技术高纯水生产线。
3、离子交换树脂不需用酸碱再生,节约大量酸碱和清洗用水,降低劳动强度。
4、清洁生产,无废水处理问题,利于环保。
5、电脑元件用超纯水设备采用的技术较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上。
6、占地面积小,单一系统连续运转,不需建设备用系统。
7、微电子行业用超纯水设备的产水电阻率15~18MΩ·cm,pH6.5~7.0,硅<1.0ppb,实现了无菌。
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