扫描电子显微镜的功能 1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸) 2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析 1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析,相鉴定。
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扫描电子显微镜的功能
1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)
2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析
1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析,相鉴定。
2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像;
3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。

台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使
台式扫描电镜的真空要求和小容量的抽真空使台式扫描电镜抽真空时间短,也比传统落地扫描电镜呈像速度快。台式扫描电镜可直接操作,节省了实验操作人员执行分析,准备报告并传达结果所需的时间。除了台式扫描电镜系统响应快之外,分析即时性和用户实时根据观察结果来指导研究工作是具有要当大的潜在价值的。在一些应用中,比如钙钛矿的观察,因为钙钛矿在空气中非常容易氧化,因此如果抽真空的时间过长,样品的表面形貌和成分会发生改变,台式扫描电镜能有效地减小钙钛矿的氧化。

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