台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。 电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。 电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原
天津电镜检测
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
半导体器件(IC)研究中的特殊应用
在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：
1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究
2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造快捷的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便。
（作者： 来源：）
