随着经济的发展，光学平板的使用越来越多，从紫外到近红外，SFS的温度稳定性，耐热性都很好。 准分子激光用SFS，用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于改善膜的质量，提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光，通常用作透射元件，如分光镜或窗口，或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外，sfs 具
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随着经济的发展，光学平板的使用越来越多，从紫外到近红外，SFS的温度稳定性，耐热性都很好。 准分子激光用SFS，用于高功率的准分子激光 去除抛光面的次表面缺陷（微小裂纹），对于改善膜的质量，提高耐高功率激光的稳定性很重要。光学板的两侧经过抛光，通常用作透射元件，如分光镜或窗口，或用作全反射器或光学测量的参考面。Bk7基板通常用于可见光和近红外区域。从紫外到近红外，sfs 具有良好的温度稳定性和耐热性。用于高功率准分子激光器 krf （248nm）的准分子激光器 sfs 具有较低的荧光性能。
光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃,都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件,由于这类零件的需求量日益增大,使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。显然,这种两面同步加工的技术,比每个面分别单次加工的效率要高得多,但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。
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