高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。气体管道安装要求实验室的气体供应不同于一般工厂的要求，首先表现在仪器设备对气体的纯度要求较高，一般工作气体要求达到99。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤
真空管道安装生产商
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。气体管道安装要求实验室的气体供应不同于一般工厂的要求，首先表现在仪器设备对气体的纯度要求较高，一般工作气体要求达到99。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。承插联接主要用于铸铁管、混凝土管、陶土管及其联接件之间的联接，只适用于在低压常温条件下工作的给水、排水和煤气管道。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
气体管道工程的保养主要有哪些？
其实主要的是接口与阀门，接口与阀门经过气的侵蚀在一定时间后会出现小故障，会容易出现漏气的现象。每日要检查气压表，如果出现漏气的话气压表就会不稳定或不在原来的地方等。
气体管道属于机电机械类物体其主要是为了输送气体，气体又分普通气体、高纯气体、特种气体。气体管道安装实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。生活当中接解的多的就是天i然气，煤气，气体运用不好的话就会给我们带来灾难。日常的保养非常重要，要做到及时检查气体管道的重要部位，通过重要部位来分析哪些地方管道出现问题。出现问题的地方要及时修复，避免损坏越来越大造成严重后果。
工业气体管道压力试验方法
气体管道压力试验方法
管道系统安装完毕后，为了检查管道系统的强度和严密性及保证安装质量，
应对管道系统进行压力试验。
试压的一般规定
1管道试压前应全i面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等，质量应符合设计要求及技术规范的规定。
2管道试压应编制试验方案，根据工作压力分系统进行试压。一般对于同向大气的无压管线，如放空管、排液管等可不进行试压。
3试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管4管道上所有开口应封闭，系统内的阀门应开启。
5试压时，应用精度等级1.5级以上的压力标2只，表的量程应为测压力的1.5~2倍，一只装在试压泵出口，另一只装在本系统压力
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