真空泵机械选择
⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下
鲍斯真空泵厂家
真空泵机械选择
⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵卡住无法启动的处理方法
现在真空泵被广泛的应用于很多领域,使用寿命长,投资成本低等优点,对于产品性能要求比较高,这对于施工的技术要求提高了。下面咱们一起了解下关于真空泵卡住无法启动的处理方法有哪些吧。
真空泵使用过程中经常卡住,为了避免这个问题的发生,真空泵水垢多了会卡住泵无法正常使用,还会造成机封和轴承的损坏。通过清理水垢,更换机封,轴承,阀板,调整间隙后该真空泵可以正常使用了,抽气能力也大大提高甚至超过刚买来时的性能。
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