净化工程洁净室的分类
垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。 优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点
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净化工程洁净室的分类
垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。压力差的维持一般应符合以下原则:1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
各行业对净化车间洁净等级的要求立净021-69116303
现如今,洁净技术已广泛应用于各行各业的工业产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制,由于各行业的产品特性不同、各个产品的生产工艺流程不相同,使用要求不一样,因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。层流式,层流式空气气流运动成一平均之直线型,空气由笼盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级,还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染,有的无尘车间还要求供给纯水、超纯气体和高纯的化学品等。


净化洁净工程
送风量、换气次数
器械净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定,首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求,同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量,在此基础上对gao效过滤器进行选用。通体砖墙面:清理基层,面层粘贴8厚瓷砖,砖缝预留3mm,采用白水泥抹缝。过滤器的处理风量应小于或等于额定风量,设置在同一洁净区内的gao效 ( 亚gao效、超gao效 ) 空气过滤器的阻力、效率宜接近。
通常洁净室的送风量,应取以下 3 项中的大值 :为保证空气洁净度等级的送风量 ;根据热、湿负荷计算确定的送风量 ;向洁净室nei供给的新鲜空气量。而新鲜空气量应取下列 2 项中的大值 :补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 ;保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。无尘室对室内环境对生产过程的影响如下:(1)对生产过程产生重要影响室内生产环境是制约工业生产,特别是高科技生产能否进行的关键因素之一。

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