半导体加工我们继续革新技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM,以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子
英国爱德华真空泵价格
半导体加工我们继续革新技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM,以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统,用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。电子束平版印刷解决方案电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中具有重要作用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能,真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要,它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统,可为您进行的大型投资提供 可靠性。该矿物油中的预先处理过的,和它的组合物的方式是将适合的应用程序的决定性因素。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积,不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和装配精度进行控制的,也比较容易控制,在此不做过多的介绍。

爱德华70#真空泵油应用:
真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用,亦可用于各种扩散真空泵等。推荐用于工艺品、陶瓷、化学等领域的真空泵使用。
供应英国爱德华19号真空泵油,规格4L /208L现货,爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵,看真空泵型号选用油号对用,因为真空泵油粘度不一样。
爱德华70#真空泵油特性:
真空泵油具的氧化稳定性,长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质,减少有害漆膜和油垢的形成,提供较长的换油周期。
真空泵油具有优异的防锈防腐蚀性,能在金属表面形成非常有效的防腐膜,从而可以防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。
真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来,达到所需的真空度。
真空泵油具较底的蒸汽压,防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。



真空泵是一种较为精密的机械设备,用户在使用过程中,真空泵抽真空难免出现抽气量不足或者真空度不高的现象,引起这些现象的原因是很多的。
真空泵真空度降低该怎么办?
真空泵真空度降低的故障原因:管道密封不严,有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。
真空泵真空度降低的排除方法:拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15~0.2mm);增加水量并降低进水温度。
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