设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；无尘车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先破坏而使整个设备不受损坏。无尘车间是指控制产品(如硅芯片
10万级无尘室
设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；无尘车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先破坏而使整个设备不受损坏。无尘车间是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。5、气流流型检测。6、噪声的检测。7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘车间各表明的振动幅度。9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。10、总风量和新风量的检测。
认识无尘车间照明灯的基本原理无尘车间的照明原理是提供可见度，它与空气供应系统和降低污染相协调的正确照明度，是无尘车间设计结构中不可或缺的组成部分。无尘车间的照明会根据室内的使用，等级的分类和天花板上空气供应的结构而发生改变，照明系统一定要提供良好的能见度，将污染控制把电磁场的产生与洁净度的设计考虑进去。
等某一空间需要过滤器与照明时，可以将嵌入式灯具与hepa空气过滤器合并在一起，这种器具经常使用在小型且已预制好的无尘车间内，这种器具为嵌入式，有开放的顶部和一个替代灯罩的巧克力制百叶，同时用于作为照明照明灯具与空气输送模块。为了防止天花板上照明与空气过滤器空间需求的冲突，同时作为泪滴型灯具的变通方式，制造业已发展出模块式的天花板系统，具有内建在格架通道内的整合照明，这些系统允许层流气流不受到影响。污染控制是无尘车间设计结构的主要目标，任何带有进入无尘车间的潜在污染源要严格清除使其控制在一定范围内，照明灯具要进行污染评估检测。
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