洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集
洁净室工程
洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。
洁净室使用FFU的注意事项利用FFU解决洁净室存在的问题,利用FFU可以节省空间,解决洁净室吊顶顶端维修空间狭小的问题。由于高1级别的洁净室(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,有时甚至影响消防通道的使用。
洁净室FFU控制方式的选择多档开关控制系统:此系统只包括FFU自带的一个调速开关和一个电源开关。由于控制元件为FFU自带,分布在洁净室吊顶内的各个位置,工作人员必须在现场通过拨挡开关来调节FFU,控制起来极不方便,而且FFU的风速可调范围有限,于几档。采用多档开关控制方式优点是控制简单、成本低,但存在许多缺陷,比如能耗大、不能平滑调速、没有反馈信号、不能实现灵活的组制等。
同时,在悬挂的硅钙板之间留出宽3mm的间隙,用密封剂填埋封闭,使净化工厂达到期望的气密效果。对工厂内部的灯具口、通风口、设备口等孔周边及其各种材料的分界线,根据设计和施工规范的要求,完善相应的密封和防裂措施,保证工厂整体的气密性。净化厂操作完成后,必须立即打扫无菌室,然后用紫外线灯灭菌20分钟。净化厂的应用非常广泛,目前已应用于半导体、光电子、生物工程等多个行业,根据行业精密和清洁的要求,等级差异也很大。
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