洁净室二次配GASHOOK-UP洁净室施工
HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的 UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设(SUBUNITS)。
机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予
洁净室施工
洁净室二次配GASHOOK-UP洁净室施工
HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的 UTILITIES ( 如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设(SUBUNITS)。
机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOKUP 项目主要包括∶CAD,MOVE IN ,CORE DRILL,SEISMIC ,VACUUM,GAS, CHEMICAL D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC,DRAIN.
在半导体厂,所谓气体管路的Hook-UP(配管衔接)以BukGas(一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等)而言,自供气源之气体存贮槽出口点经主管线(MainPiping)至次主管线(Sub-MainPiping)之TakeOff点称为一次配(SP1Hook-up),自TakeOff出口点至机台(Tool)或设备(Equipment)的入口点,谓之二次配(SP2Hook-up)。
以SpecialtyGas(特殊性气体如:腐蚀性、毒性、性、加热气体等之气体)而言其供气源为气柜(GasCabinet)。自G/C出口点至VMB(Valve Mainfold Box.多功能阀箱)或VMP(Valve Mainfold Panel多功能阀盘)之一次测(Primary)入口点,称为一次配(SP1Hook-up),由VMB或VMP Stick之二次侧(Secondary)出口点至机台入口点谓之二次配(SP2Hook-up)。
净化车间水系统平衡调试洁净室施工
1.完成平衡调试的准备工作。
2.启动并联冰水泵(P1及P2)。注:冰水机可不启动运转。
3.首先测量记录主管平衡阀(M)的总流量及流量比(FR)。
注:若总流量设计流量,可能是常开(Normallyopen)阀、平衡阀及温控调节阀等未全开,或管路中气堵,或(y型)过滤器堵塞,或设计扬程不足等原因。
4.其次逐一测量记录其他所有平衡阀的流量及FR值,此时远端设备管阀(例如3U9),可能测不到流量,暂不处理。注:无测量顺序要求。
5.由步骤4的记录中,找出FR值的区域管平衡阀(例如Z1,通常是离水泵近者,但可能例外)。
6.由步骤4的记录中,找出区域管平衡阀Z1中,FR值的支管阀(例如1B1),此支管即是应进行平衡调整的管路。
注:前置测量的结果,即是TAB作业前的水系统状态,可用来与TAB作业后的结果做比较,以了解TAB作业的水泵节能效益。
洁净室改造时需要注意的电路问题洁净室施工
洁净室施工洁净室改造时需要注意的电路问题
净化车间在改造时面向的各种细节都需要做好严格的管控,上几节讲到了水路、气压、温湿度等等,本节我们将着重来讲解洁净室改造时的电路管理问题。现有的供电系统可能也需要对容量和应急发电机这两部分进行改进。现有的供电系统可能无法为洁净实验室设施提供可靠的应急电源,因为这超出了保证生命安全要求的法定应急供电范围。因此,可能需要安装不间断电源来保证关键的工艺设备能安全地关机。
PCR实验室设计的一些经验洁净室施工
洁净室施工试剂配制室及样品处理室宜呈微正压,以防外界含核酸气溶胶的空气进入,造成污染;
可以通过控制进风风量大于排风风量达到正压效果。
核酸扩增室及产物分析室应呈微负压,以防含核酸的气溶胶扩散出去污染试剂与样品,可以通过控制排风风量大于进风风量达到负压效果。
在理想情况下,PCR实验室缓冲间内,可设置正压,使室内空气不流向室外,室外空气不流向室内。PCR实验室进风由原有空调控制,要求将空调风口安装到,且高度为地面铺装好后2600mm处。
如果使用荧光PCR仪,扩增室和产物分析室可以合并。
若房间进深允许,可设PCR内部走廊。需要指出的是在减少室内外空气交换方面,缓冲间比走廊更有意义。
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