特长
● 可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa
● 0~10V的线性压力输出，可直接接PLC使用
● 带有LED故障提示
● 传感器更换简便，可由客户自行更换
● SW1-N1型带有2点开关信号输出
● SW1-N2型带有RS-232C/RS-485通信接口
用途
◆ 可用于半导体、电子元件为首的各种制造装置的
爱发科VSN1501真空泵
特长
● 可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa
● 0~10V的线性压力输出，可直接接PLC使用
● 带有LED故障提示
● 传感器更换简便，可由客户自行更换
● SW1-N1型带有2点开关信号输出
● SW1-N2型带有RS-232C/RS-485通信接口
用途
◆ 可用于半导体、电子元件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理
◆ 可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理，可用于光伏、制冷、照明等行业
真空设备制造商“株式会社ULVAC（爱发科）”在投资兴建的全资公司，于2003年7月在工业园区设立，总投资10,350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气口排出[4]。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供设备。
公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、售后服务等方面的综合优势，受到广大客户的一致好评和厚爱。
每隔3-6个月的保养内容 :
1. 真空泵油 建议使用真空泵油。
2. 新泵浦初次使用500小时后更换泵油，以后每1000-1500工作小时更换一次。
3. 换油时先将油箱内的油放完，注入少量新油，开机半分钟后再将油放完，z后注入新泵油到规定油
位。旋片：使用周期1-2年左右（10小时/天）。
轴承：约1-2年更换（10小时/天）通常在大修保养时更换。
排气过滤器：更换周期3-6个月（10小时/天），或当排气口有喷油、冒烟的现象时更换。
进气过滤器：每周清洁一次，3个月更换。
其它：注意清洁泵体，风叶及风扇罩，确保泵浦通风散热。
影响真空泵效率的因素有哪些呢
对循环冷却水请求的研讨：
冷却水供量缺乏,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度敏捷降低,乃至蒸汽会返入抽气管。【ULVAC爱发科PVD-N360-1油旋片式真空泵】产品特色：1、安稳的排气特性、低噪音、装有气镇阀、维护保养便利2、经过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。冷凝水在多级真空泵中具有无足轻重的效果，冷凝水能够将蒸汽充分冷凝，真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的丰满蒸汽压，因而冷凝
