螺杆真空泵的原理
螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑
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螺杆真空泵的原理
螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。
真空泵的保养
真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏
定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养；或者根据实际使用工况进行保养。
真空泵防返油装置原理
为了能在停泵时防止真空泵油返到被抽容器，内置停泵防返油装置就十分重要。
真空泵防返油阀原理：可靠的进气口防返油装置，双重保护，不返油，保证了真空系统安全。
保护一：停泵时隔离阀关闭真空系统;
保护二：停泵时关闭油路并向泵腔充气。
真空泵运行期间，控制活塞在油压作用下顶着弹簧保持密封。防倒吸阀的阀盘由于自重保持在较低位置(阀门开启)。泵停机后，油压下降，弹簧将控制活塞向上顶。这样就在油箱与防倒吸阀的活塞之间形成了一个通路。以上为真空泵防返油阀原理的介绍，对比用弹簧来控制防返阀的真空泵，防返油效果更好，故障率较低，维修更加简单。
为什么真空泵达不到极限真空度及解决方法？
1.真空泵进气管路及连接处漏气找出漏气原因或临时用真空封泥封堵
2.所抽气体温度过高在进气管路上假装冷却装置，降低进气温度
3.油量不足或油质不对增添新的机械泵真空泵油
4.真空泵油已污损更换新的真空泵油
5.真空泵油温度太低在寒冷季节，室内温度过低影响真空泵油温度，等泵运转半小时后，才能正常工作
6.真空泵排气阀片损坏漏气更换新的真空泵排气阀片
7.真空泵进气管路连接处橡胶垫圈损坏更换新的橡胶密封垫圈
8.所抽气体含有可凝性蒸汽加用气镇装置或加装蒸汽捕集装置
9.几间损坏因使用时间长，零件磨损，零件之间的间隙变大，从而影响正常工作和真空度，须进行修理更换
10.选用真空计不对
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