用化学显影液溶解光刻胶经过曝光后可溶解区域的过程称为显影,其主要目的是将光刻板上的图形用光刻胶地到晶圆片上,即溶解掉不需要的光刻胶,从而在光刻胶膜上获得所需要的图形。光刻胶被显影液溶解后再用去离子水清洗晶圆片表面并旋转甩干。为了获得良好的显影效果,有些厂家也采用多次旋覆浸没的办法。相对传统显影方式而言,旋覆浸没显影的每一片晶圆使用的都是新的显影液,提高了晶圆片间的均匀性,并且旋覆浸没显影减小了温度
保温杯曝光显影加工厂
用化学显影液溶解光刻胶经过曝光后可溶解区域的过程称为显影,其主要目的是将光刻板上的图形用光刻胶地到晶圆片上,即溶解掉不需要的光刻胶,从而在光刻胶膜上获得所需要的图形。光刻胶被显影液溶解后再用去离子水清洗晶圆片表面并旋转甩干。为了获得良好的显影效果,有些厂家也采用多次旋覆浸没的办法。相对传统显影方式而言,旋覆浸没显影的每一片晶圆使用的都是新的显影液,提高了晶圆片间的均匀性,并且旋覆浸没显影减小了温度的影响,实现了对显影均匀性的良好控制。保温杯曝光显影加工厂
曝光显影方法工艺流程长,人力、物力需求大,设备投入大,还易造成产品不良率增加,因此现有技术还有待改进和发展。
曝光显影工艺,本申请提供的曝光显影工艺流程简单,且提升了制程良率。
有鉴于此,本申请提供了一种曝光显影工艺,
提供一种曝光显影的方法,包括如下步骤:
粗抛步骤:装上抛光风轮利用废砂片把风轮表面修复平整,把青蜡打到修复平整的风轮上,把需要抛光的产品反面向下放在抛光治具上进行抛光作业;
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在平面玻璃产品上进行感光油墨曝光显影的工艺明显不能适用在3D曲面镜片上,由于曲面镜片的外形为两边弯曲或四边弯曲,曲面上难以印刷遮敝图案,造成曝光显影效果不明显或出现偏差。感光油墨曝光显影工艺在3D曲面不适用的问题,提供一种3D曲面玻璃曝光显影定位夹具,解决曲面镜片的曲面难以遮蔽图案的缺陷,提高3D曲面镜片的感光油墨印刷质量。保温杯曝光显影加工厂

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