真空泵的选型要点及用途
1、确定工作真空范围
首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
2、确定极限真空度
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的工作
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真空泵的选型要点及用途
1、确定工作真空范围
首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
2、确定极限真空度
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。
3、被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
4、真空容积
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
5、真空泵计算公式
S=2.303V/tLog(P1/P2)
其中:
S为真空泵抽气速率(L/s)
V为真空室容积(L)
t为达到要求真空度所需时间(s)
P1为初始真空度(Torr)
P2为要求真空度(Torr)
真空泵的分类
01
按性能特点和用途分类
(1)低真空泵
泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
(3)高真空泵
极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。
(4)超高真空泵
极限压力10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。
真空泵如何工作
真空泵将气体从密封室中排出。这就产生了一个真空,其中的压强为零。因为气体,通常以空气的形式,自然地从一个压力较高的地方流入压力较低的地方,空气被“吸入”到有真空的腔室中。
常见的真空泵类型是容积式真空泵。正排量泵通过扩大空腔产生局部真空。这就为同样数量的气体或空气创造了更多的体积,产生了部分真空和较低的气压。空气从外部流入空腔,以平衡空气压力。然后将该空腔封闭并排入大气中。
另一种真空泵是动量传递泵。动量传递泵也称为分子泵。他们使用高速旋转的叶片或者高密度液体的高速喷射来把分子移出腔室。
对于低真空应用,容积式泵是有效的。当需要高真空时,通常用动量传输泵对正排量泵进行配对。
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