随着的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在
科研级气浮隔振平台
随着的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。
将系统与振源隔离，外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的空气tan簧支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。控制振动的作用，将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性，且可以降低在外界的影响下产生共振的几率，提高系统的稳定性
自动平衡光学平台是现代光学实验设备重要的组成部分之一，在科研，教学，医学等各个领域发挥了巨大作用，并且即将发挥越来越大的作用。那么，如何评价或如何挑选自动平衡光学平台呢？首先要公正，客观地评价进口光学平台和国产光学平台，不能盲目认为进口光学平台比国产好。特别是改革开放以来，我国综合国力和科学技术水平大大提高，带动了光学平台制造业，而且很多制造技术通过借鉴外国技术得到很大提高，提高了整体的性能与质量。有的已经有重大突破。自动平衡光学平台广泛应用于航空、航天、微电子、大规模集成电路、纳米技术、集成光电子学、生命科学、植物生理学、医学分子生物学、微细加工光学、波谱与原子分子物理、超导材料、高分子物理与化学、声学等新兴领域对隔振有着更、更好性能和更高要求的场合。
需要指出的是，安装工作需要由购买过相应保险的专员使用正确的工具来完成，决不能出现十几人抬起桌面让其他数人移动桌腿的情况。地动多发区的实验室设备选择更需要考虑建筑物的防震需求。
因此尽管当代的振动隔离系统已经极大地提升了光电类应用的稳定性，它们并非能解决全部问题的灵丹妙药。光路稳定性是由整个振动传递“结构回路”决定的，包括支撑结构、光机械件、光学元件和运动控制系统。综合考虑振动环境、削减声音的影响、移除平台上和平台附近不必要的振动来源、以及使用正确的隔振平台安装方法，都是提升隔振性能需要注意的事项。
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