手套箱故障分析
一、风机跳闸
1. 检查设备是否有溶剂过滤系统,观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确;
2. 是否风机未开启而设备已经开始工作了?这说明净化柱上的挡板阀的反馈位置不对;
3. 也可能造成断路器跳闸或变频器自保的原因就是负载过大。
二、风机出现杂音轴承缺油,需人士拆开风机,加油保养。
三、手套箱不断漏气
1. 设备
OLED研发系统价格
手套箱故障分析
一、风机跳闸
1. 检查设备是否有溶剂过滤系统,观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确;
2. 是否风机未开启而设备已经开始工作了?这说明净化柱上的挡板阀的反馈位置不对;
3. 也可能造成断路器跳闸或变频器自保的原因就是负载过大。
二、风机出现杂音轴承缺油,需人士拆开风机,加油保养。
三、手套箱不断漏气
1. 设备本身密封出现问题,保压检漏;
2. 过渡舱舱门未关严;
3. 脚踏是否被东西压住;
4. 净化系统管路电磁阀被杂质卡住。
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一、循环启动不了
1. 工作气压力是否在0.4-0.6MPa之间;
2. 高真空挡板阀电磁开关反馈是否正常;
3. 压力传感器是否显示正常;
4. 风机空开是否跳闸;
5. 风机变频器是否正常;
6. 点循环后,继电器是否同时亮两个。
二、再生按钮不起作用
1. 需输入密码;
2. 真空泵未打开;
3. 此净化柱正在循环(再生和循环不能同时在一个净化柱上)。
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;操作室第四次置换(夹杂气体置换):(夹杂气体配比为N285%、H210%、CO25%)A。在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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