干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。
干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初，由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
无油螺杆真空泵公司
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干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。
干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初，由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
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螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点，已成为当前大型空间模拟真空系统的产品。另外，为了提高真空机组的抽速和极限真空并相应的减小螺杆泵的尺寸，一般都是采用一台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的二级机组或二台罗茨泵与螺杆真空泵串联构成的三级机组。为防止颗粒杂质进入泵内，在真空机组入口均配置入口过滤器，其精度为50 μm。无油螺杆真空泵公司
。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比，各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。无油螺杆真空泵公司
干式螺杆真空泵的优点
干式螺杆真空泵在工作时，相互之间无磨擦，运转相对平稳，噪音比较低，工作腔不需润滑油，因此，干式螺杆真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空度更高，消耗功率比较低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的升级版产品。无油螺杆真空泵公司
在真空条件下的气体分析和分压力测量通常是由动态质谱计完成的。被输送介质中，若含有固体颗粒，泵入口要加过滤网：如含有铁磁质微粒，需加磁性过滤器，使用后要立马清洗，排净泵内积液。干式螺杆真空泵要经常保持清洁状态，真空泵上不要放置其它物件，不可堵塞泵四周通道，便于更好的维修和操作。无油螺杆真空泵公司
由于螺杆泵泵腔内无任何其他工艺介质，内部表面均采取涂层的防腐措施，既节能又环保，无废液处理问题，溶媒还可以全部回收，所以螺杆真空泵已成为这一应用领域的选择。
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