对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。我
氦质谱检漏解决方案
对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。
应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸枪法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸枪法。
机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸枪探头通过吸气线连接，并将吸枪探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
采用试验件对机翼整体油箱漏率进行摸索，整体油箱试验件检漏总体上分为两个部分: -是粗漏漏点检测与工艺修补;二是氦质谱细漏检测,粗漏检测过程涉及的主要设备有压缩空气气源、自动配气平台、控制阀等。试验时，首先接通压缩空气气源，启动整体油箱检漏设备，设定充气气压。充气过程结束后，稳压15min, 观测检漏设备上的压降曲线，确定是否存在粗漏。若压降明显，说明有粗漏漏点存在。经肥皂泡方法确定粗漏漏点位置后，利用涂密封胶的方法对粗漏漏点进行工艺修补，重复检测修补后，至油箱试验件在规定时间内的压降符合技术要求后，可以进行氦质谱细漏检测。
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