金华市博扬净化工程有限公司为您介绍:一个标准的净化车间应该是这样的
洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成
千级净化车间
金华市博扬净化工程有限公司为您介绍:一个标准的
净化车间应该是这样的
洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
金华市博扬净化工程有限公司为您介绍:
空调机房接近需求送风量大的净化车间,力求风管的线路短。但从避免噪声和振荡来说又需求把净化车间与机房离隔。这两方面都予以思考。离隔方法有:
1.结构别离方法。有以下几种:
(1)沉降缝离隔式。使沉降缝在净化车间与机房之间经过,起切割效果。
(2)夹壁墙离隔式。假如机房紧靠净化车间,不是共用一面墙隔墙,而是各自有各自的隔墙,而双面隔墙之间留有必定宽度的缝隙。
(3)辅佐室离隔式。在净化车间与机房之间设辅佐室,起缓冲效果。
在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
(作者: 来源:)