从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生非弹性散射作用时,使原子发生电离,从而使原子失去一个内层电子而变成离子,并在该电子层对应位置产生一个空穴,原子为了恢复到稳定态,较外层的电子就会填补到这个空穴,在填补过程中同时会产生具有特征能量的X射线,探测器接收到这些特征X射线后,经过分析处理转换得到谱图和
天津FIB电镜制样机构
从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生
从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生非弹性散射作用时,使原子发生电离,从而使原子失去一个内层电子而变成离子,并在该电子层对应位置产生一个空穴,原子为了恢复到稳定态,较外层的电子就会填补到这个空穴,在填补过程中同时会产生具有特征能量的X射线,探测器接收到这些特征X射线后,经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。
当以背散射电子为调制信号时,由于背散射电子能量比较高,穿透能力强,可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用深度的30%左右)。在此深度范围,入射电子已有了相当宽的侧向扩展,所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低,一般在500~2000nm左右。

聚焦电子束与试样相互作用
由电子发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物 理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。

台式扫描电子显微镜采用高集成度电子光学系统设计和附件集成方案
台式扫描电子显微镜采用高集成度电子光学系统设计和附件集成方案,使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度,同时也具有更强的抗干扰能力。
配合很高的信号采集带宽,可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统,是目前市面上体积较小的扫描电镜,便于移动,安装无需特殊环境。
该产品使得扫描电镜不仅仅是“便宜电镜”的代名词,而是从集成度、易操作性、稳定性、抗干扰能力等角度出发,打造好用的台式扫描电镜。

扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析
扫描电镜带能谱结合了表面成像功能和元素分析EDS功能,EDS(能谱仪)可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。台式电镜能谱仪体积小巧,完全嵌入在电镜主机中,采用半导体制冷,无需额外冷却系统。与光学显微镜类似,扫描电镜也通过透镜来控制电子路径。但因为电子无法穿过玻璃,所以扫描电镜要使用电磁透镜。它们由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈,就会产生磁场。由于电子对磁场非常敏感,因此只需调节所施加的电流大小就可以控制镜筒内的电子路径。

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