真空泵油：SMR-100矿物油；SO-M合成油；ULVOILR-2合成油；KF-25接口；油雾过滤器:OMT-050A;OMT-100A;OMT-200A;油雾分离器:OMC-050;OMC-200;排气口过滤器：OMI-100;OMI-200;各种滤芯：OMT-050A用滤芯;OMT-100A用滤芯;OMT-200A用滤芯;各种接口:G3/4雄×G1雌;各种排气管口；
爱发科VDN602真空泵
真空泵油：SMR-100矿物油；SO-M合成油；ULVOILR-2合成油；KF-25接口；油雾过滤器:OMT-050A;OMT-100A;OMT-200A;油雾分离器:OMC-050;OMC-200;排气口过滤器：OMI-100;OMI-200;各种滤芯：OMT-050A用滤芯;OMT-100A用滤芯;OMT-200A用滤芯;各种接口:G3/4雄×G1雌;各种排气管口；各种吸气管口；各种真空连接用零件；各种规格真空泵用油封；吸气口过滤器：OFI-050C;OFI-200C;OFI-050V;OFI-200V;真空用吸排气过滤器：SGT-100;SGT-200;逆止阀；吸气管带过滤器；流体压力计管真空计；爱发科真空泵用途多为真空蒸发镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空离子镀、光学镀膜设备。真空橡胶软管；小型真空蒸发装置：DEPOX(VFR-200M/ERH;VTR-350M/ERH;VTS-350M/ERH);VPC-1100;VPC-060;VPC-060A;VPC-260F;VPC-410；
图3 中1#油样是未使用过的新油，这里做为参考比较。2#油样深黑色并且根本看不出有没沉淀物，那一定要立刻更换。3#油样虽然色彩比1#油样深了点,但真空泵运行都会有少量杂质但属于正常范围，可以放心使用。4#油样比3#暗度加深(证明杂质比3#较多)此时要注意观察底部是否有水或颗粒之类，如有就应更换；如果即没颗粒又没水，那仍可以短期保用，但要密切注意变化色彩再深就应该更换。这里说明一点：一般情况油环真空泵初次使用100 h 后更换油，以后每500~2000 工作小时更换一次。但需根据具体应用环境及操作介质而定。换油时应先将油箱内油放完，注入少量新油开机半分钟后再将油放完，z后注入到油位。 除了这种直接对真空泵油进行检查更换外，在日常维护中还需要定期对进气口过滤器滤芯，油雾分离滤芯，内置粉尘滤芯和叶片进行检查清理，必要时更换。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的设备。这样也可以有效减少使用过程中对真空泵油的污染。
真空泵结垢如何避免
循环水的水质和运行温度超过一定指标是造成真空泵结垢的主要原因。水质指标中，尤以水的硬度影响大。为此，必须尽可能降低水的硬度，控制循环水的工作温度，才能解决真空泵结垢的问题。
1、循环冷却水的硬度
循环水在真空泵中的运行过程，与低压热水锅炉中锅水运行过程极其相似。因此，按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质，既可防止真空泵结垢又可防止真空泵腐蚀。
真空泵循环水系统大都是敞开式循环系统，回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下，一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。
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