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使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置;

2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置，假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回;

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热，保证MFC在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对MFC进行调零处理，否则将影响MFC的精度。

气体质量流量控制器使用注意？

1 加装过滤器

使用气体必须纯净干燥，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。

2 使用腐蚀性气体

流量计通道采用的材料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。

3 安装位置问题

本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。

4 阀口密封问题

质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。

5 标定与不同气体的换算

本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。

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