河北旋片式真空泵公司「凯德金科技」

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵粗真空泵

粗真空系主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

真空泵概述

z灰口铸铁是一阶段石墨化过程充分进行而得到的铸铁，全部或大部分碳以片状石墨形态存在，断口呈灰暗色，因此得名，它包括一般灰口铸铁、孕育铸铁、稀土灰口铸铁等。灰铸铁有一定的强度，但塑性和韧性很低，这种性能特点与石墨本身的性能 及其在铸铁组织中的存在形态有关。有良好的减震性，用灰铸铁制作水环真空泵机组上的底座或机架等零件时，能有效地吸收机器震动的能量；有良好的润滑性能、导热性能、铸造性能。其流动性能良好，线收缩率和体收缩率较小，铸件不易产生开裂，因此适宜于铸造结构复杂的铸件和薄壁铸件。

真空泵漏气主要原因

水环式真空泵前后侧盖不同心即前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。液环温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。水环真空泵液环发热的原因比较多，有可能是输进液环的温度本来就高，也有可能是供给水或供给液水母不足，以致不能起到冷却的作用而使液环温度升高，还有可能由于它的叶轮和侧盖的摩擦发热促使液环温升，以及轴承发热或泵长期工作等因素所造成。