广州潽拓光电科技有限公司——TV70Agilent分子泵维修硬件升级
TV70Agilent分子泵维修硬件升级分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比,保证出色的极限压力无烃运行,可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作低振动和低噪音 (41 dB(A)),打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成免维护轴承,
TV70Agilent分子泵维修硬件升级
广州潽拓光电科技有限公司——TV70Agilent分子泵维修硬件升级
TV70Agilent分子泵维修硬件升级分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比,保证出色的极限压力无烃运行,可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作低振动和低噪音 (41 dB(A)),打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成免维护轴承,零运行成本真空计读数功能,用于监测系统压力通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计,无嵌入式电子设备,可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射,确保不会干扰工艺过程
磁场对涡轮分子泵的可能影响
当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。
与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到好的性能曲面上(3D),达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。
安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。
据悉,CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵,其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气,可靠性高,所需电流小,对环境磁场的影响也很小,并且无油无振动,非常适合粒子、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计,使其结构很紧凑,安装使用也更简单。在结构上,CombiNEG系列采用安捷伦科技(AgilentTechnologies)StarCell离子泵抽气单元和赛斯集团 (SaesGroups)的烧结型非蒸散型吸气剂(NEG)。
从上世纪60年代上市以来,安捷伦(即原瓦里安,下同)扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时,会用安捷伦的型号,也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦,要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它的扩散泵。
安捷伦分子泵的特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
真空泵常规性能参数测试抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时,安捷伦对外发布的各项参数和曲线。
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