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流量控制器的特点

地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。

适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体质量流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～ 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。

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流量控制器的性能参数

流量控制器的特点是：当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时，通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。

流量控制器的性能参数有：流量控制精度、工作压差范围、启动压差

工作压差范围指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时，能保持通过流量控制器的流量恒定不变。浸入式热式质量流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式质量流量计更适合于大管径。行业标准中规定工作压差范围0.03－0.3MPa，A类产品工作压差范围达到0.03－0.4MPa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。

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如何提高流量控制器的准确度？

提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为：

1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数，对该流量计进行“个性化标准”，从而实现在实际使用流量点的一定范围内，该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。

2.把好气体质量流量控制器的安装环节，减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。

3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。

4.把好气体质量流量控制器的投用关。

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流量控制器

一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测