真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。E 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件：膜厚监控仪，恒温
硅胶纳米镀膜设备
真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。E 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些
气体不均匀性的影响
一般来说气体不均匀可以由两种情况产生，一种是送气不均匀，另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气，可认为是均匀抽气；而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气，属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气，真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时，气压从前到后逐渐减小，而后分子泵关只开前分子泵时，气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
扩散泵是真空镀膜机很重要的部件，大家都知道，真空镀膜机是在真空状态下工作的，那么真空腔体要达到真空，扩散泵的。然而要保证真空镀膜机长期稳定工作，扩散泵保养和维护是的环节。
1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2、扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种，各自为有油真空泵和无油超滤装置，这二种系统软件的工作中形式全是不一样的；有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵，前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道，油扩散泵的工作压力方向较为大，与此同时抽真空速度十分的高，可以做到每秒钟十几万升。
无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的，其特性关键集中化在可以持续很多抽真空，能够得到清理无油的极高真空泵。
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