扫描电子显微镜的功能 1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸) 2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析 1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。
电镜分析机构
扫描电子显微镜的功能
1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)
2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析
1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。
2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，生成化学成分相的分布图像；
3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。
聚焦电子束与试样相互作用
由电子发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交 叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其它物 理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关
扫描电镜分辨率与电子在试样上的小扫描范围有关，电子束斑越小，电子在试样上的分辨率越高。在保证束斑足够小的情况下，电子束还要有足够的强度。束流太低不能从试样表面激发足够的信号，噪声影响大。二次电子对形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，细节清晰。
背散射电子对原子序数敏感，原子序数高的区域能得到更多的背散射电子，相应图像较亮，可以用来观察材料成分的分部。
原子被激发会发出，每种元素受激发射发出的会不同，通过对不同X进行检测，就可知道材料中包括什么元素和比例。
台式扫描电镜对操作员培训的要求
建立大型分析测试时，扫描电镜可以起到承上启下的作用，早期能满足大部分的测试需要，后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
有多少人将使用该系统用户是否受过培训如果不是，他们愿意投入多少时间进行培训台式扫描电镜的操作非常简单，样品制备流程非常简单，获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户，只要投入一点时间进行培训，就可以访问更高的的程序。总的来说，台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多，而且系统本身更加稳定。而且设备耐使，不容易坏，潜在的维修成本也很低。
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