厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
工艺气体管路工程包括操作阀门、减压设备、过滤器、压力表或压力传感器、管件等部分。从储气装置一直到使用生产设备的部分都属于气体管路系统,气体管道工程施工的要求非常严格,而气体管路工程
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厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
工艺气体管路工程包括操作阀门、减压设备、过滤器、压力表或压力传感器、管件等部分。从储气装置一直到使用生产设备的部分都属于气体管路系统,气体管道工程施工的要求非常严格,而气体管路工程安装的难度也较大,首先从设计、再到选材、施工安装这些过程都应极度严谨。
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成,以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
2.系统检测
特气管道施工结束后都需要进行压力检测,氦检漏,颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪,不用压力表。这样大大提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪;颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪,精度达到0.1微米;而对要求更高的采用核凝结技术(CNC)它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。
3.大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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