苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、PP/PVC通风柜/厨、CDS化学品集中供液系统式解决方案。我们的产品广泛应用与微电子、半导体、光伏、光通信、LED等行业及高等院校、研究所等等科技领域的生产和研发。
电科装备四十五所第四设备事业部自主研发的JHQ-400激光划切机设备突破了橡胶钝化二极管晶圆划切的加工工艺，划切成品率高达10
硅腐蚀设备
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、PP/PVC通风柜/厨、CDS化学品集中供液系统式解决方案。我们的产品广泛应用与微电子、半导体、光伏、光通信、LED等行业及高等院校、研究所等等科技领域的生产和研发。
电科装备四十五所第四设备事业部自主研发的JHQ-400激光划切机设备突破了橡胶钝化二极管晶圆划切的加工工艺，划切成品率高达，成为世界上首台橡胶钝化二极管晶圆加工的激光划切设备。该设备的研制成功，标志着四十五所橡胶钝化二极管晶圆激光加工技术已达国际水平，后续将拥有非常可观的市场前景。
就清洗媒介来说，湿法清洗仍然是现代晶圆清洗工艺的主力。虽然Si技术中的清洗化学材料与起初RCA的配方相差不大，但整体工艺较为明显的改变包括：采用了非常稀释的溶液；简化工艺；广泛使用臭氧水。
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds化学品集中供液系统解决方案。我们的产品广泛应用与微电子、半导体、光伏、光通信、led等行业及高等院校、研究所等等科技领域的生产和研发。
氨水加氧化剂清洗液：
在表面污物被氧化和刻蚀的同时也会发生MCP表面粗糙现象,造成MCP表面“发毛”和划道或路子等伤害,造成产量下降,因此应控制合适的温度和清洗时间,并及时用水漂洗干净。
超级电容行业数年内将会克服技术壁垒、市场蓬勃发展。
超级电容具有功率密度高、充放电时间短、循环寿命长、工作温度范围宽、无污染的优点，材料构成、生产、使用、储存以及拆解过程均没有污染，是理想的绿色环保电源；但是，超级电容存在技术壁垒，比如能量密度小、内阻大等等；基本都与下面阐述的超级电容制造工序真空干燥工艺直接相关。
2006年美国MAXWELL找到了TIME，就开发全工序全自动的真空干燥系统，双方一拍即合；同时TIME承诺保密到2010年。
TIME一年半后开发出样机，用3年为MAXWELL装备了·条全自动超级电容真空干燥线。（·）
在科技部、深圳市·的技术资金支持下， TIME在2009年12月取得了全自动超级电容真空干燥线6个相关证书； 2011年初，又为MAXWELL装备了第二条全自动超级电容真空干燥线。（第二代）
超声清洗：
腐蚀后的MCP是由微米级细孔构成的复杂网状结构,普通的清洗方法一般不能达到孔内,而孔内芯料的反应生成物及其他污染物会在后序工艺中会产生重复污染。无论是采用·溶剂或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超声波清洗技术却可以实现无重复污染,而且能深入MCP孔内的效果。
全自动真空干燥系统暨应对传统真空干燥缺陷的对策
由于超级电容MODULES在使用过程中经常出现温度升高、充电不足、高温连续使用时膨胀、爆裂的现象，美国MAXWELL确认与超级电容CELL的制造工艺和工艺设备有相关性，TIME一直在研究真空干燥的理由和方法，2006年美国MAXWELL找到了TIME，就开发全工序全自动的真空干燥系统达成协议。
全自动超级电容真空干燥系统系统在各单个制备工序以及在从一道工序转移到下一道工序的过程中完全实现高真空环境；有效排除超级电容内部水、气、杂质的影响；从而提高功率密度，降低内阻，改善高频特性；极大地提升了超级电容单体和模组的一致性及使用寿命等技术参数，同时生产效率数倍提高。
全自动超级电容真空干燥系统系统标准配置：
TE-ZGY全自动预热炉4台﹑TE-ZGL全自动真空干燥炉12台﹑
TE-ZGC半自动真空周转车2台、TE-ZGJ全自动真空手套界面箱1台。
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