气体质量流量计控制单元厂家 北京晓韬科技有限公司

流量控制单元（FSCU）

FSCU（Flow System Control Unit）是北京晓韬科技有限公司技术团队针对各大高校、科研院所的不同研究方向，为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元，目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关领域。

FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等）及电磁截止阀开关，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。

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