氦质谱检漏仪特点
1,气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检漏
氦质谱检漏仪报价
氦质谱检漏仪特点
1,气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检漏仪的结构
质谱室,形象的说,质谱室是氦质谱检漏仪的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成,有时还需要配置辅助的真空系统。
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。
背压法氦质谱检漏的优缺点
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。
背压法的检漏标准主要有QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》,主要应用于各种电子元器件产品检漏。
(作者: 来源:)