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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加
瑞士英福康真空计维修
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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。
热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。
MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。
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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力Fe应于压力p相等，
静电力平衡式inficon电容薄膜真空规管结构图当伺服电压为VS时，薄膜上所受的静电力Fe为：式中：ε0为真空腔室的介电常数；d是伺服电极与薄膜间的距离。由式（2）、式（3）得伺服电压与压力p的关系为：如图10所示，静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的信号处理电路由微电容测量电路和静电力控制回路组成。其中，微电容测量电路用来对敏感电容的变化量测量得到压力信号，而静电力控制回路用来产生伺服电压。
图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了保证静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有以及良好的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用PID控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。
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起初主要是以生产 inficon真空表为主，后经我们技术工程师们对产品技术的不断，先后试制研发出了PM-1型至PM-8型的多种inficon真空计产品， 逐步淘汰初级产品，使inficon真空计的产品在结构上、准确度、使用寿命上都有了长足的进步，不亚于国外的同类inficon真空计产品。
其次，公司为了更好的迎合市场的需求，先后制造了ZDJ-1至ZDJ-8型（DZA1）的电阻真空计和数显的、指针式的热偶真空计，其中的ZDJ-3型和ZDJ-8型（DZA1）两款数显真空计，其线路设计是采用国外相当的16位高速数据采集系统及高稳定的微处理机来进行监控跟踪的，非常适用于我国的空调冰箱行业以及涉及真空领域的粗低真空设备的真空度检测。准确的产品，生存的保证！
inficon真空计(表)在上海市场有很多家地下作坊，他们没有检测设备，不懂压缩球容积跟测量毛细管之间的匹配关系，只是一味的照葫芦画瓢，数据和真实值相差甚远，由于很多用户本来就不知道真空测量的理论，以为只要是inficon真空计测量出来的数据就是对了，殊不知与真实的数据相差很大，大部分测量的数据都是偏小的，因为他们只知道把压缩球泡缩小就能省点，能省下很多的钱，在网上可以说98%的inficon真空表都是假货或者称产品，不信的客户可以请他们送上海市计量测试研究院进行检测。
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