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气体质量流量控制器流速和流量之间的关系

流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种：

体积流量的公式为Q=VS，Q代表气体的体积流量（m/s），V代表气体的平均流速（m/s），S代表气路管道的横截面积（㎡）。

质量流量则是M=ρQ=ρVS，M代表气体的质量流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），Q代表气体的体积流量（m/s）。

重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM，G代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（N/㎡），M代表气体的质量流量（kg/s）。

气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念

气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

气体质量流量控制器显示方式有哪些

1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式，测量的精度高，多款外形尺寸可选，双四位的LED显示，支持电流、电压的输入方式，可带多个控制点、多窗口显示，适用于流量等过程量的监测，是一款非常高的产品。

2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示，除了具有精度等级高，线性精度好以外，操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。

3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式，适合多气路以及产品的集成，一键启动，人机界面，具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。

气体质量流量控制器对于气体的要求

1，气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。