真空泵选型方法
1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过
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真空泵选型方法
1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
真空泵选型
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
里其乐真空泵工作原理
里其乐真空泵，利用体积减少压力增加是里其乐真空泵运行的原理。这种静态设计可以在真空，压力和两者结合的应用中产生良好的效果。根据规格和构造，真空度可达0.1mbar，流量从3到1535m³/hr；压力可达1.5bar，流量从3到155m³/hr。当同时应用于真空和压力时，可同时达到0.6bar的真空度和0.7bar的正压。 [1] 在圆柱体的泵腔内，转子是偏心安装的，紧靠顶部几乎与缸体接触，转子叶片安装在众多的转子槽中。当转子开始转动，由于离心力作用叶片抛出后沿缸体内部滑动。这样，两个叶片之间形成一个气室，其体积随着转动不断改变。当后面的叶片到达进气口时，气体从进气口进入气室，在这时，气室达到其容积。当气室移动，其容积越来越小，气体被压缩，压强增加，直到气室的气体压强超过压力腔内的压强时，气体从出气口排出。有些型号安装了单向阀用于防止达到极限压强时排出的气体回流。作为真空泵运行时，其过程相同，但气室提供的是负压，腔体内为大气压。
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