洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑布局也要符合净化空调系统的原则,才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置,而且要给建筑布局提出要求,使其符合洁净室原理。
洁净室的平面布局
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:
洁净棚生产厂家
洁净室的建筑布局和净化空调系统有密切关系,净化空调系统既要服从建筑总体布局,建筑布局也要符合净化空调系统的原则,才能充分发挥相关功能的作用。净化空调的设计者不仅要了解建筑布局以考虑系统的布置,而且要给建筑布局提出要求,使其符合洁净室原理。
洁净室的平面布局
洁净室一般包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。
洁净室的平面布置可以有以下几种方式:
外廊环绕式:外廊可以有窗和无窗,兼作参观和放置一些设备用,有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。
内廊式:洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较高,甚至和洁净室同级。
两端式:洁净区设在一边,另一边设准洁净和辅助用房。
核心式:为了节约用地、缩短管线,可以洁净区为核心,上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来,这种方式避开室外气候对洁净区的影响,减少了冷热能耗,利于节能。
由于洁净室是密闭性很强的建筑,其安全疏散成为非常重要和突出的问题,和净化空调系统设置也有密切关系。一般应注意以下几点:
1.每一生产层防火区或洁净区至少设2个安全出口,只有面积小于50,人员少于5人时,可允许只设一个安全出口。
2.人净入口不应作疏散出口。因为人净路线往往迂回曲折,一旦烟火迷漫,要求人员很快跑到室外是很困难的事。
3.吹淋室不能作为一般出入通道,由于这种门常为两扇联锁或自动,一旦出现故障,非常影响疏散,所以一般均在吹淋室设旁通门,工作人员多于5人时必须设此门。平时工作人员出洁净室时不应走吹淋室而应走旁通门。
4.洁净区内各洁净室的门,考虑到维持室内压力状况的需要,其开设方向要朝向压力大的房间,因为要靠压力把门压紧,这显然和安全疏散的要求相反。为了考虑平时洁净和紧急疏散时的两方面要求,规定洁净区和非洁净区之间的门、洁净区与室外的门作为安全疏散门对待,其开启方向一律朝向疏散方向,当然,单设的安全门也是如此。

洁净棚的温湿度控制非常重要,不合宜的温湿度会影响洁净效果。但是温湿度的控制主要还是根据工艺要求来确定的,工艺性高也就代表着洁净度越高。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

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