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Leybold turbovac 450i/iX 分子泵莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空，具有操作简单，可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后，可以实现10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。工作原理涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空，具有操作简单，可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后，可以实现10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。







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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修




爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。








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