新工艺的采用在发展新型传感器中新工艺的采用
在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域，例如溅射、蒸镀、等离子体刻蚀、化学气体淀积(CV
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新工艺的采用在发展新型传感器中
新工艺的采用
在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域，例如溅射、蒸镀、等离子体刻蚀、化学气体淀积(CVD)、外延、扩散、腐蚀、光刻等，迄今已有大量采用上述工艺制成的传感器的国内外报道。
涡流传感器测量技术发展历史
涡流传感器测量技术发展历史
电涡流（也称涡流，涡电流，傅科电流）指导体内部，因所处环境的磁场变化，根据法拉第电磁定律，产生的环形电流。电涡流在导体内部呈闭环流动，并处于垂直于磁场方向的平面内。电涡流可以由周围静态导体内通入交变电流带来的磁场变化所激发，例如，相对磁场运动的导体。特定闭环内的电流强度与所处环境的磁场强度成比例关系。回路面积，磁通量的变化与导体材料的电阻率成比例关系。
传感器探头里有小型线圈，由控制器控制产生震荡电磁场，当接近被测体时，被测体表面会产生感应电流，而产生反向的电磁场。这时电涡流传感器根据反向电磁场的强度来判断与被测体之间的距离。注意：电涡流传感器要求被测体必须是导体。
电容位移传感器用于汽车车窗防夹手保护
电容位移传感器用于汽车车窗防夹手保护
解决办法是采用非接触检测系统。与德国Metzeler和FrauhoferGesellschaft公司合作,德国米铱公司开发出了非接触电容位移传感器防夹系统。传感器可以轻松埋藏于现有车门和车窗密封条内。如果车厂已经采用上述接触式防夹系统，已经预埋的电缆甚至可以直接使用。这些电缆可以作为电容式测量回路的一部分，随着距离变化产生电容值的变化。电场会延伸到线路以外，实现非接触测量距离变化。如果某物质具有大于1的介电常数，其进入电场后，电容发成改变，电路发现间距变化。
因为人体主要由水构成，介电常数大约为81，人体进入车窗关闭范围，可以轻松被检测到。
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